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        碳化硅懸臂梁的用途有哪些?碳化硅懸臂梁有哪些設計特點?

        發布時間::2020-11-10   編輯作者:admin?  閱讀:255
        [導讀]:碳化硅懸臂槳,也稱為碳化硅棒反應燒結碳化硅懸臂漿料,是半導體晶片裝載系統的關鍵部件。本文主要講解了碳化硅懸臂梁的用途有哪些?碳化硅懸臂梁有哪些設計特點?...

          碳化硅懸臂槳,也稱為碳化硅棒反應燒結碳化硅懸臂漿料,是半導體晶片裝載系統的關鍵部件。懸臂漿料性能穩定,在高溫環境下不變形,晶圓加載力大,適用于機器人自動加載和搬運系統。小編今天想來跟大家一起分享一下碳化硅懸臂梁的用途以及設計特點。

         

          一、碳化硅懸臂槳的用途

          1、碳化硅懸臂漿料主要用于光伏行業。光伏新能源產業用碳化硅懸臂梁漿料的主要規格有2378毫米、2550毫米、2660毫米等

          2、應用在擴散爐中對多晶硅硅片或單晶硅硅片的(擴散)涂層過程中,對硅片在高溫環境中(1000---1300℃)的承載輸送作用

          3、碳化硅懸臂槳漿性能穩定,在高溫環境下不變形,晶圓裝載力大,適用于機器人自動裝載和搬運系統

          4、由于碳化硅懸臂漿截面穩定不變形,使得利用現有的爐管制備更大規格晶圓成為可能

          5、碳化硅懸臂漿與LPCVD涂層的熱膨脹系數相近,應用于LPCVD,極大地延長了維護清洗的周期,并大幅減少污染物

         

          二、碳化硅懸臂槳的設計特點

          1、在高溫環境下不變形,晶片裝載力大

          2、耐極冷急熱,使用壽命長

          3、懸臂漿熱膨脹系數極小,極大地延長了維護清洗的周期

          4、碳化硅懸臂槳大幅減少污染物

          總之,碳化硅懸臂槳具有高強度、高純度、 高導熱、無氣孔、耐酸堿腐蝕、高溫下無污染、不變形及良好的抗熱震穩定性、載重量大等特點,避免了與爐管的直接接觸,延長了爐管的使用壽命,解決了其它材質懸臂槳易斷裂,載重量小,成本高的問題。目前,現有技術中碳化硅懸臂槳的制作工藝非常復雜,并且每個廠家的工藝都有所不同,且碳化硅懸臂槳的合格率低,而造成碳化硅懸臂槳成本高。

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        標題:碳化硅懸臂梁的用途有哪些?碳化硅懸臂梁有哪些設計特點?     地址:http://www.esmailkhoi.com/hangye/130.html
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