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              碳化硅懸臂槳的應用和性能有哪些?

              發布時間::2021-02-22   編輯作者:admin?  閱讀:191
              [導讀]:本文主要是分享碳化硅懸臂槳的應用和性能,山東尚美新材料科技有限公司專業生產碳化硅懸臂槳,可接受定制!...

                山東尚美新材料科技有限公司是專業生產碳化硅制品的廠家,其生產的碳化硅懸臂槳可達4000左右,今天小編就跟大家分享一下碳化硅懸臂槳的一些應用和性能。

              碳化硅懸臂槳性能

                碳化硅懸臂槳的應用

                反應燒結碳化硅懸臂槳是半導體晶片裝載系統的關鍵部件。反應燒結碳化硅懸臂槳性能穩定,高溫環境下不變形,晶片承載能力大,適用于機器人自動裝卸系統。由于懸臂槳段穩定且不變形,因此可以利用現有的爐管制備更大規格的晶圓。懸浮槳的熱膨脹系數與LPCVD涂料相近,應用于LPCVD,大大延長了維護和清洗周期,大大減少了污染物。

                碳化硅懸臂槳的性能有哪些?

                1、反應燒結碳化硅懸臂漿,是半導體晶圓裝載系統的關鍵部件;

                2、碳化硅懸臂漿性能穩定,在高溫環境下不變形;

                3、 光伏新能源行業用的碳化硅懸臂槳,主要規格2378毫米,2550毫米,2660毫米等,應用在擴散爐中對多晶硅硅片或單晶硅硅片的(擴散)涂層過程中,對硅片在高溫環境中(1000---1300℃)的承載輸送作用;

                4、碳化硅懸臂槳/碳化硅槳,可謂在高溫擴散爐/LPCVD擴散爐制程中傳輸晶圓部件起到了關鍵作用;

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              標題:碳化硅懸臂槳的應用和性能有哪些?     地址:http://www.esmailkhoi.com/xinwen/285.html
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