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              碳化硅懸臂槳的是如何制作的

              發布時間::2021-02-25   編輯作者:admin?  閱讀:171
              [導讀]:碳化硅懸臂漿,是半導體晶圓裝載系統的關鍵部件,本文主要跟大家分享下碳化硅懸臂槳是如何制作出來的?...

                碳化硅懸臂漿,是半導體晶圓裝載系統的關鍵部件,應用在擴散爐中對多晶硅硅片或單晶硅硅片的(擴散)涂層過程中,對硅片在高溫環境中(1000---1300℃)的承載輸送作用,今天小編主要跟大家分享下碳化硅懸臂槳是如何制作出來的?

              碳化硅懸臂槳

                1、首先確認客戶使用的碳化硅懸臂槳的尺寸及具體圖紙;

                2、根據具體圖紙,制作碳化硅懸臂槳的模具;

                3、根據數量復制碳化硅懸臂槳的制作模具;

                4、碳化硅懸臂槳模具晾干之后進行碳化硅制品的制作;

                5、碳化硅懸臂槳素胚制作出來之后進行尺寸的核實校對并進行修整;

                6、再次定型晾干準備燒結;

                7、燒結完成后清砂質檢;

                8、質檢完成后裝箱

                總之碳化硅懸臂槳性能穩定,在高溫環境下不變形,晶圓裝載力大,適用于機器人自動裝載和搬運系統。由于懸臂漿截面穩定不變形,使得利用現有的爐管制備更大規格晶圓成為可能。懸臂漿與LPCVD涂層的熱膨脹系數相近,應用于LPCVD,極大地延長了維護清洗的周期,并大幅減少污染物。

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              標題:碳化硅懸臂槳的是如何制作的     地址:http://www.esmailkhoi.com/zixun/289.html
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