碳化硅懸臂槳的是如何制作的

　　碳化硅懸臂漿，是半導體晶圓裝載系統的關鍵部件，應用在擴散爐中對多晶硅硅片或單晶硅硅片的(擴散)涂層過程中，對硅片在高溫環境中(1000---1300℃)的承載輸送作用，今天小編主要跟大家分享下碳化硅懸臂槳是如何制作出來的?

　　1、首先確認客戶使用的碳化硅懸臂槳的尺寸及具體圖紙;

　　2、根據具體圖紙，制作碳化硅懸臂槳的模具;

　　3、根據數量復制碳化硅懸臂槳的制作模具;

　　4、碳化硅懸臂槳模具晾干之后進行碳化硅制品的制作;

　　5、碳化硅懸臂槳素胚制作出來之后進行尺寸的核實校對并進行修整;

　　6、再次定型晾干準備燒結;

　　7、燒結完成后清砂質檢;

　　8、質檢完成后裝箱

　　總之碳化硅懸臂槳性能穩定，在高溫環境下不變形，晶圓裝載力大，適用于機器人自動裝載和搬運系統。由于懸臂漿截面穩定不變形，使得利用現有的爐管制備更大規格晶圓成為可能。懸臂漿與LPCVD涂層的熱膨脹系數相近，應用于LPCVD，極大地延長了維護清洗的周期，并大幅減少污染物。