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        碳化硅懸臂槳的設計特點有哪些?

        發布時間::2021-03-05   編輯作者:admin?  閱讀:346
        [導讀]:碳化硅懸臂漿,是半導體晶圓裝載系統的關鍵部件,那么它有什么設計特點呢?今天小編跟大家一起分享...

          碳化硅懸臂漿,是半導體晶圓裝載系統的關鍵部件。光伏新能源行業以前用的碳化硅懸臂槳主要規格2378毫米,2550毫米,2660毫米等,現在隨著發展,現在多用到3500毫米、3750毫米等,既然這樣今天小編主要跟大家分享碳化硅懸臂槳的設計特點:

        碳化硅懸臂漿

          1、碳化硅懸臂槳是由細顆粒α-SiC和添加劑壓制成素坯,在高溫下與液態硅接觸,坯體中的碳與滲入的Si反應,生成β-SiC,并與α-SiC相結合,游離硅填充了氣孔,從而得到高致密性的陶瓷材料;具備工業陶瓷的各種優越性能。其可以在中等濃度的酸或堿介質中使用;

          2、碳化硅懸臂槳需要在高溫環境下不變形,因為晶片裝載力大;

          3、晶硅硅片或單晶硅硅片的(擴散)涂層過程中,對硅片在高溫環境中(1000---1300℃)的承載輸送作用,因此耐極冷急熱,使用壽命長;

          4、碳化硅懸臂槳熱膨脹系數極小,極大地延長了維護清洗的周期;

          5、碳化硅懸臂槳大幅減少污染物;

          6、碳化硅懸臂槳性能穩定,在高溫環境下不變形,晶圓加載力大,適用于機器人自動加載和搬運系統;

          綜上所述碳化硅懸臂槳性能穩定,在高溫環境下不變形,晶圓裝載力大,適用于機器人自動裝載和搬運系統。由于碳化硅懸臂槳截面穩定不變形,使得利用現有的爐管制備更大規格晶圓成為可能。懸臂漿與LPCVD涂層的熱膨脹系數相近,應用于LPCVD,極大地延長了維護清洗的周期,并大幅減少污染物;

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        標題:碳化硅懸臂槳的設計特點有哪些?     地址:http://www.esmailkhoi.com/zixun/302.html
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