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        碳化硅懸臂槳的質檢參數有哪些?

        發布時間::2021-03-14   編輯作者:admin?  閱讀:309
        [導讀]:碳化硅懸臂槳是用于半導體行業,其要求相對嚴一些,本文主要是分享碳化硅懸臂槳的質檢參數項目都有哪些?...

           碳化硅懸臂槳,是半導體晶圓裝載系統的關鍵部件。光伏新能源行業用的碳化硅槳,應用在擴散爐中對多晶硅硅片或單晶硅硅片的(擴散)涂層過程中,對硅片在高溫環境中(1000---1300℃)的承載輸送作用;碳化硅懸臂槳性能穩定,在高溫環境下不變形,晶圓裝載力大,適用于機器人自動裝載和搬運系統。今天小編主要跟大家分享碳化硅懸臂槳的質檢參數都包含哪些項目:

          項目 Item單位 Unit指標 Data

          使用溫度℃1380

          密度g/cm3≥3.02

          抗彎強度Mpa250(20℃)

          Mpa280(1200℃)

          彈性模量Gpa330 (20℃)

          Gpa300 (1200℃)

          導熱系數w/m.k45 (1200℃)

          熱膨脹系數k-1*10-64.5

          模式硬度9.2

          氣孔率%<0.1

          端變形量

          裂紋

          針孔

          殘缺,掉塊

          總長度

          分段尺寸

          方管

          槳壁厚

          槳截面

          背平面度

          鏟平面度

          平行度

          平行度

          負載

          800度下30分鐘熱負載實驗

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        標題:碳化硅懸臂槳的質檢參數有哪些?     地址:http://www.esmailkhoi.com/zixun/314.html
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